Home arrow J arrow ion implantation คืออะไร
ค้นหาศัพท์
       |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  | 
       |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  | 
 

A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z

สมัครสมาชิก
เพื่อรับเอกสารเพิ่ม!

สถิติ

ผู้เยี่ยมชม: 4179037
ขณะนี้มี 27 บุคคลทั่วไป ออนไลน์
ion implantation คืออะไร PDF พิมพ์

          ion implantation คือการฝังไอออนที่ผิวของวัสดุ เป็นหนึ่งในกระบวนการปรับผิวหน้าวัสดุให้มีสมบัติ เชิงกายภาพดีขึ้น เหมาะสำหรับนำไปใช้ในงานพิเศษด้านต่าง ๆ ในกระบวนการนี้ไอออนของธาตุต่าง ๆ เช่น ไนโตรเจน โบรอน ถูกยิงไปฝังบนผิวของวัสดุ พลังงานของไอออนส่วนใหญ่มีค่าอยู่ในเรือน 100 keV ขึ้นไป ไอออนจะฝังลึกลงไปในผิวประมาณ 0.1 ไมครอน กระบวนการทั้งหมดดำเนินไปในห้องที่มีความดันบรรยากาศต่ำ สมบัติเชิงกายภาพที่ผิวซึ่งเกิดการเปลี่ยนแปลงหลังจากการฝังด้วยไอออนจำนวนหนึ่งคือ ความแข็ง การสึกหรอ การเสียดทาน และการเป็นสนิม เป็นต้น
       เครื่องไอออนอิมพลานเตชั่นประกอบด้วย เครื่องกำเนิดไอออนระบบเร่งอนุภาค ระบบกรองอนุภาค(beam analyser), ระบบนำลำอนุภาค(beam transport system) และห้องแขวนเป้า(target chamber) โดยที่ส่วนประกอบ ทั้งหมดนี้อยู่ในระบบสูญญากาศ เครื่องกำเนิดไอออนเป็นแหล่งผลิตไอออนให้แก่ระบบ ไอออนจากเครื่องกำเนิด จะถูกทำให้มีพลังงานตามที่ต้องการด้วยระบบเร่งอนุภาค โดยทั่วไปแล้วไอออนที่ผลิตจากเครื่องกำเนิดไอออน มีหลายชนิด เมื่อไอออนเหล่านี้ผ่านเข้าไปในส่วน beam analyser ไอออนชนิดที่ไม่ต้องการก็จะถูกคัดออก ทำให้ได้ลำไอออนที่บริสุทธิ์ออกมา หลังจากนั้นลำไอออนจะถูกนำส่งไปยังพื้นผิวของวัสดุที่วางอยู่ใน target chamber ในบรรดาส่วนประกอบของเครื่องไออนอิมพลานเตชั่นที่กล่าวมาแล้วนั้น เครื่องกำเนิดไอออนเป็นส่วนที่ซับซ้อนที่สุด ซึ่งอาจถือได้ว่าเป็นหัวใจของเครื่องอิมพลานเตชั่น ในขณะที่ beam analyser และ beam transport system ซึ่งเป็นระบบแม่เหล็กไฟฟ้าก็นับว่าเป็นเทคโนโลยีที่มีความสำคัญไม่แพ้กัน

       ไอออนอิมพลานเตชั่นเป็นเทคนิคของการเคลือบแข็งแบบใหม่ที่มีลักษณะโดดเด่นเฉพาะตัว คือ เคลือบวัสดุ โดยไม่เปลี่ยนแปลงขนาดของวัสดุนั้น, ไม่มีปัญหาเกี่ยวกับการติดแน่นของสารเคลือบกับวัสดุ, ไม่มีปัญหา thermal distortion ผิวชิ้นงานได้รับการขัดไปในตัว การฝังตัวของอะตอมเป็นกระบวนการระดับจุลภาค ดังนั้น การรวมตัว กับธาตุเดิมจึงกลมกลืนที่สุด นอกจากนี้วิธีไอออนอิมพลานเตชั่นยังเป็นการเปลี่ยนแปลงสมบัติผิวของวัสดุ ซึ่งขึ้นกับชนิดของไอออนที่ใช้ด้วย
 

ที่มา : เอกสารเผยแพร่เรื่องการเคลือบแข็งด้วยวิธีไอออนอิมพลานเตชั่น งานวิจัยที่ได้รับทุนจาก MTEC

< ก่อนหน้า   ถัดไป >